拐角行星減速機在單晶硅生產機械應用
文章出處：合富源 人氣：發表時間：2019-06-20 11:39
生產單晶硅的常用方法是Czochralski方法，它是克勞斯基方法。 Czochralski方法是用于半導體和太陽能電池單晶生長的最晶體生長技術。拉伸速度的大小和穩定性決定了晶體生長的質量。拉動過程的抖動或上升速度不均勻，這可能導致晶體生長的晶格未對準。在水晶升降結構中，拐角行星減速機是關鍵部件，因此客戶對行星減速器有一定的要求……
當用戶要求伺服電機速度為10rpm時，輸出速度在通過拐角行星減速機減速器后穩定地控制在0.1rpm。因此，合富源配備了客戶的減速比：I=10/0.1=100。對于其他用戶，之前使用過拐角行星減速機，安裝尺寸與合富源行星減速器的標準尺寸不同。根據用戶的要求，工廠在用戶面前將尺寸改為與其他品牌相同的尺寸，方便客戶安裝和測試。
尺寸變化分為兩部分，其余部分按樣本標準反映：
1.輸出軸直徑選擇為Φ22，軸長度改為40mm。
2.分布圓的直徑變為Φ100。
合富源根據用戶配備的伺服電機的接口尺寸完全定制。此外，對于輸出尺寸與合富源伺服減速機上標注的尺寸不同的用戶，我們可以根據客戶的要求定制尺寸，如果尺寸變化不是特別大，價格和交貨時間不會受到影響。這可以極大地保證用戶安裝的便利性。
避免低速抖動非常重要。行星減速器的低速抖動問題在市場上很常見，單晶硅的增長速度也不會太快。
行星減速機廠家提出的解決方案：
1.提高減速機的精度，減少減速機的后沖。我們選擇行星減速機BPF系列減速機來匹配;
2.糾正減速器內的嚙合齒輪，增加嚙合面;
3.采用伺服電機連接方式，采用獨特的鎖定結構，確保伺服電機與減速機之間連接的穩定性。
基于以上所述，客戶無需使用合富源減速器，更愿意使用合富源行星減速機。客戶啟動正式試驗并測試所需指標。
通過客戶對伺服減速機的實際使用和測試，行星減速機性能穩定可靠，單晶硅棒具有良好的拉動效果。當將晶錠切割成晶片時，晶片是純硅晶片。同時，從用戶的生產成本考慮，合富源系列行星減速機用于替代其他品牌的行星減速機，這樣可以在不改變性能的情況下降低設備的生產成本。
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