行星減速機獲得硬齒面齒輪的熱處理方法很多，比如有表面淬火，整體淬火、滲碳淬火、滲氮等，具體應根據行星齒輪減速機的特點考慮選定。

 

1.表面淬火

常見的表面淬火方法有高頻淬火（對小尺寸齒輪）和火焰淬火（對大尺寸齒輪）兩種。表面淬火的淬硬層包括齒根底部時，其效果好。表面淬火常用材料為碳的質量分數約0.35%~0.5%的鋼材，行星減速機齒面硬度可達45~55HRC。
 

2.滲氮

采用滲氮可保證輪齒在變形小的條件下達到很高的齒面硬度和耐磨性，熱處理后可不再進行精加工，提高了承載能力。這對于不易磨齒的內齒輪來說，具有特殊意義。

3.滲碳淬火

滲碳淬火齒輪具有相對大的承載能力，但需采用精加工工序（磨齒）來消除熱處理變形，以保證精度。

滲碳淬火齒輪常用滲碳前碳的質量分數為0.2%~0.3%的合金鋼，其齒面硬度常在58~62HRC的范圍內。若低于57HRC時，齒面強度顯著下降，高于62HRC時則脆性增加。輪齒心部硬度一般以310~330HBW為宜。滲碳淬火齒輪的硬度，從輪齒表面至深層應逐漸降低，而有效滲碳深度規定為表面至深層應逐漸降低，而有效滲碳深度規定為表面至硬度52.5HRC處的深度。